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通過結束帶裝置和導管附著可以簡單地安裝。 ? 在易談的價格下裝置,可為設備改善時的成本降低作出貢獻。 ? 厚10mm的薄形管。由于可以密封安裝，所以可以檢測出Z小4mm的位差。 ? 即使在可然性氣體中也可使用。

采用了耐藥品、耐油性都很優秀的特氟龍(PFA) ? 能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測相對應。(-40 ~ +200℃) ? 實現了0.5mm的高重復精度。 ? 采用了防止液體的結構。

仿晶園片也能穩定檢測 增加了示教功能 防止靜電產生的誤差

不易受到玻璃端面處理狀態的影響。 ? 即使玻璃基板在盒內動蕩也無影響，可穩定地檢測出。

安全性能勝過激光型，且降低了成本。 ? 使用了可清楚辨明光點位置的紅色點光源LED。 光點直徑：φ1.2mm(檢測距離：120mm、代表例)使用turbo功能更加鮮明。 ? 使用耐曲折導線可放心地安置于可動部，也可彎曲。 ? 0.1ms超高速應答。